编号：

名称： 大功率微波CVD制备金刚石膜系统的生产 与CVD金刚石膜的工业应用

领域： 先进制造

成果形式：

投资额： 万

案例数：

技术阶段： 研发阶段

合作方式： 技术入股

项目简介：

金刚石有多项指标在所有材料中都是最好或者第一位的，如最高的硬度，室温下最高的导热性，高光学透过性，极低的热膨胀系数，高化学稳定性等，因此是非常理想的高性能功能材料。本项目利用微波法制备CVD金刚石膜。其中，微波法是高质量，大面积，高速率制备CVD金刚石膜的首选方法。目前，因为CVD金刚石膜的战略性应用前景，发达国家对我国限制进口该材料先进的制备系统。因此需要国产化系统的研制和生产，以满足我国对CVD金刚石膜应用的需求。目前国外已经将CVD金刚石膜用于高速飞行器的红外导引头，卫星上的红外窗口材料，大功率CO₂激光器的窗口材料；超大功率的微波输出窗口材料，高端散热器；高稳定性电化学电极；首饰级单晶钻石；以及辐射探测器等多方面得到了广泛的应用。

主要功能和指标：能够生产微波功率为：1.0kW，5.0kW，8.0kW（2450MHz）和30-100kW（915MHz）的微波CVD制备金刚石膜系统，能够生产直径200毫米的工具级金刚石膜以及120毫米直径的光学级金刚石膜窗口材料。

技术水平：国内领先，接近国际最先进的SEKI生产的设备技术。

市场分析与前景：目前国外已经将CVD金刚石膜用于高速飞行器的红外导引头，卫星上的红外窗口材料，大功率CO₂激光器的窗口材料；超大功率的微波输出窗口材料，高端散热器；高稳定性电化学电极；首饰级单晶钻石；以及辐射探测器等多方面得到了广泛的应用。

应用领域：国防，太空科研，激光，核聚变，医疗，工业制造，电子器件。

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